第9回SPring-8次世代先端デバイス研究会／
第72回SPring-8先端利用技術ワークショップ
「半導体プロセス開発の現状と放射光の役割」
日 時：2022年1月13日（木） 13時30分〜17時00分
開催形式：対面式（TKPガーデンシティ京都 橘）とオンラインによるハイブリッド開催
オンラインツール：Cisco社 WebEX Eventsを予定
※会場へのアクセスについて
主 催：（公財）高輝度光科学研究センター（JASRI）
SPring-8利用推進協議会
後 援：（公財）科学技術交流財団あいちシンクロトロン光センター
SPring-8ユーザー協同体（SPRUC）
趣 旨： デジタルトランスフォーメーション、スマートモビリティ等々、人間生活の中で電気・電子が関係しないものは無い時代に突入しています。一方で「カーボンニュートラル」実現のためには更なる省エネ化も求められており、製品開発側には新たな取り組みが求められています。新機能の付加や現行機能の飛躍的向上のためには、計算科学と精密な材料解析を組み合わせた材料・プロセス開発が必須であり、SPring-8の高輝度放射光は大いに活用できることが期待されています。
今回は、こうしたデジタル化社会を推進する半導体デバイスの最近の研究状況を、第一線の研究者の方から紹介いただき、SPring-8の更なる利用推進を図りたいと考えています。
プログラム概要
| 13:30～13:40 |
開会挨拶 研究会主査 上原 康（JASRI） |
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座長 上原 康（JASRI） |
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| 13:40～14:25 | 集積回路における半導体トランジスタのバラツキ・雑音について
寺本 章伸（広島大学） |
| 14:25～15:10 | 放射光技術を利用した次世代熱電発電デバイス用Ⅳ族半導体の微小領域熱特性評価
横川 凌／小椋 厚志（明治大学） |
| 15:10～15:25 |
休憩 |
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座長 小金澤 智之（JASRI) |
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| 15:25～15:55 | 放射光を活用したGaN-HEMTの状態解析
館野 泰範（住友電気工業（株）） |
| 15:55～16:25 | HAXPESによるAlGaN／GaN界面の2DEG生成メカニズム調査
南條 拓真（三菱電機（株）） |
| 16:25～16:55 | SPring-8共用ビームラインの再編状況～産業利用BLの回折散乱測定技術の状況について～
小金澤 智之（JASRI） |
| 16:55～17:00 |
閉会挨拶 山口 章(JASRI） |
申込方法
定員：100名程度
申込み締切：2022年1月5日（水）17:00(予定)
申込方法：
参加申し込みは締め切りました。
問い合わせ先
（公財）高輝度光科学研究センター
産業利用・産学連携推進室 上原 康 （yasushi.uehara@spring8.or.jp）
SPring-8利用推進協議会研究会事務局（suishin@spring8.or.jp）
〒679-5198 兵庫県佐用郡佐用町光都1丁目1-1
TEL 0791-58-2785 FAX 0791-58-2786
SPring-8利用推進協議会 URL http://www.jasri.jp/iuss/